簡介:
本規格係將TAS300 Type E4A 進行retrofit後，就能進行 200mm SMIF Pod 的運用。
規格:
◆ 晶圓：200mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空 ：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 使用電源 ：DC24V±５％ 3A　（全負载電流2A）