簡介:
本規格係應用在薄化後的Tape frame wafer上。
規格:
◆ 晶圓：300mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空 ：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 使用電源 ：DC24V±５％ 3A　（全負载電流2A）