簡介:
TAS-FP(Front Purge)為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E4/E4A/H1/J1)之產品，在搭載本產品後能將N2/XCDA注入至FOUP內來降低濕度及氧濃度來抑止晶圓汙染。