簡介:
TAS-BP(Bottom Purge)為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E4/E4A/H1/J1) 之產品，有2 in 2 out及3 in 1 out兩種規格，在搭載本產品後能將N2/XCDA注入至FOUP內來降低濕度及氧濃度來抑止晶圓汙染。