TDK FOUP opener Load Port
300/200mm 晶舟轉接器
TDK N2 purge function
ECGAS混合氣體
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TAS-BP
TAS-BP
簡介:
TAS-BP(Bottom Purge)為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E4/E4A/H1/J1) 之產品,有2 in 2 out及3 in 1 out兩種規格,在搭載本產品後能將N2/XCDA注入至FOUP內來降低濕度及氧濃度來抑止晶圓汙染。
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