TDK FOUP opener Load Port
300/200mm 晶舟轉接器
TDK N2 purge function
ECGAS混合氣體
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簡介:
由美國技轉在台配製混合氣體,follow NIST第三認證單位,使用重量灌充法技術,用比例換算可精確充填氣體容量。
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