簡介:
AVI-B4為對應TDK製TAS-300 FOUP Load Port (Type E3/E4/E4A/H1/J1)之產品，在搭載本產品後將能使用200mm Open Cassette，當取下Cassette時本機型可提供Carrier信號OFF Event訊號，為有罩式Adapter之機型。