TAS PLP type Load Port
TAS PLP type Load Port
簡介:
TAS PLP Type 應用於扇出型晶圓級封裝技術FOWLP上(Fan Out Wafer Level Package),FOWLP的原理,是從半導體裸晶的端點上,拉出需要的電路至重分佈層(Redistribution Layer),進而形成封裝。因此不需封裝載板,不用打線(Wire)、凸塊(Bump),能夠降低30%的生產成本,也讓晶片更薄,該系列也受各FOWLP廠廣泛應用。
規格:
◆ Panel Size:510x515mm、600x600mm
◆ CDA:0.52~0.60MPa(G)・30L/min(ANR)(φ6mm管)
◆ 真空 :-61±10kPa(G)・10L/min(ANR)(φ6mm管)
◆ 使用電源 :DC24V±5% 3A (全負载電流 2A)