簡介:
TAS 300 Type J1 Load Port相容於300mm晶圓 FOUP，是TDK最新開發產品，具有輕量化、超潔淨設計及縮短cycle time的優點。

規格:
◆ 晶圓：200mm、300mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空 ：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 使用電源 ：DC24V±５％ 3A　（全負载電流2A）