簡介:
TAS 300 Type E4/E4A Load Port是經過改良後所開發的產品，相容於300mm晶圓 FOUP，也是目前市占率最高之型號。

規格:
◆ 晶圓：200mm、300mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空 ：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 使用電源 ：DC24V±５％ 3A　（全負载電流2A）