- 產品介紹列表 - 銳柏股份有限公司

TAS300 Frame type Load Port

簡介:
本規格係應用在薄化後的Tape frame wafer上。

規格:
◆ 晶圓：300mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 使用電源：DC24V±５％ 3A　（全負载電流2A）
...

TAS SMIF type Load Port

簡介:
本規格係將TAS300 Type E4A 進行retrofit後，就能進行 200mm SMIF Pod 的運用。

規格:
◆ 晶圓：200mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 使用電源：DC24V±５％ 3A　（全負载電流2A...

TAS300 E4/E4A type Load Port

簡介:
TAS 300 Type E4/E4A Load Port是經過改良後所開發的產品，相容於300mm晶圓 FOUP，也是目前市占率最高之型號。

規格:
◆ 晶圓：200mm、300mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 使用...

TAS300 J1 type Load Port

簡介:
TAS 300 Type J1 Load Port相容於300mm晶圓 FOUP，是TDK最新開發產品，具有輕量化、超潔淨設計及縮短cycle time的優點。

規格:
◆ 晶圓：200mm、300mm
◆ CDA：0.52~0.60MPa（G）･30L/min（ANR）（φ6mm管）
◆ 真空：-61±10kPa（G）･10L/min（ANR）（φ6mm管...